fa بررسی خواص الکتریکی نمونه‌های ساندویچی (Cu/Si/PS/Au) جهت ساخت حس‌گر گازهای CO2,N2 وO2 علمی پژوهشی کاربردی S این پژوهش به‌منظور بررسی اثر حس‌گری گاز و رفتار الکتریکی نمونه‌های ساندویچی برپایۀ سیلیکان متخلخل (PS) با ساختار Cu/Si/PS/Au انجام شده است. لایه‌های نازک PS به روش الکتروشیمیایی از زیر لایۀ سیلیکان با مقاومت ویژه  1.4-2.6 ساخته می‌شوند . پارامترهای قابل تغییر در ساخت نمونه‌ها، زمان آندی‌سازی، فاصلۀ بین آند و کاتد(L) و چگالی جریان آنودی‌سازی و غلظت محلول الکترولیت هستند که محلول الکترولیت شامل اسید‌هیدروفلوریک HF(48%) ، اتانول C2H5OH(99.9%) و آب‌مقطر با نسبت‌های مختلف x:y:z  در نظر گرفته  شده است. نمونه‌ها پس از متخلخل شدن رفتار متفاوتی از خود نشان می‌دهد که این اثر را می‌توان با اندازه‌گیری گاف انرژی از روی نمودار  توجیه کرد. هم‌چنین در این مقاله مشخصه‌های  I-V , I-Tنمونه‌ها در شرایط مختلف و در حضور گازهای  CO2,N2,O2اندازه‌گیری و مقایسه شده‌اند. بهترین شرایط از لحاظ پاسخ به اعمال گاز متعلق به  پارامترهای: چگالی جریان 20 mA/cm²،t = 1800 S ، PH = 1.869 و فاصله بین آند و کاتد L=4 cm است. This study presents the electric behavior of sandwich devices based on porous silicon (PS) thin films with Au/Ps/Si/Cu structure when the material’s surface is exposed to different gases. PS thin films were fabricated by the electrochemical anodization method of Si–c (100) substrates with resistivity 1.4-2.6 Ωcm. Samples were anodized in a solution of HF (48%), C2H5OH (99.98%) and distilled water with different current densities, etching time(t) and anodization length(L). They exhibit a different behavior after anodization process. This behavior can be explained by band gap measurement on   graph. In this research, measurement of I-V and I-T characteristics were carried out at different conditions, in the presence of O2, N2 and Co2 gases for gas sensing construction. The best response to gas exposure belonged to these parameters: current density= 20 mA/cm² ،t = 1800 S ، PH = 1.869 and L = 4 cm. اعمال گاز متعلق به پارامترهای چگالی جریان , 20 mA cm2 , t = 1800 S , PH = 1.869 و فاصله بین آند و , belong to this parameters current , density= 20 mA cm2 , t = 1800 , PH = 1.869 and L = 4 cm , 125 140 http://jsci.khu.ac.ir/browse.php?a_code=A-10-160-9&slc_lang=fa&sid=1 محمد اسماعیل عظیم عراقی me_azimaraghi@yahoo.com 1003194753284600114 1003194753284600114 No دانشگاه خوارزمی hamide eskandari torbaghan حمیده اسکندری تربقان eskandari_humd@yahoo.com 1003194753284600115 1003194753284600115 No باشگاه پژوهشگران جوان