محمد اسماعیل عظیم عراقی، حمیده اسکندری تربقان،
دوره ۱۱، شماره ۳ - ( ۸-۱۳۹۰ )
چکیده
این پژوهش به‌منظور بررسی اثر حس‌گری گاز و رفتار الکتریکی نمونه‌های ساندویچی برپایۀ سیلیکان متخلخل (PS) با ساختار Cu/Si/PS/Au انجام شده است. لایه‌های نازک PS به روش الکتروشیمیایی از زیر لایۀ سیلیکان با مقاومت ویژه ۱,۴-۲.۶ ساخته می‌شوند . پارامترهای قابل تغییر در ساخت نمونه‌ها، زمان آندی‌سازی، فاصلۀ بین آند و کاتد(L) و چگالی جریان آنودی‌سازی و غلظت محلول الکترولیت هستند که محلول الکترولیت شامل اسید‌هیدروفلوریک HF(۴۸%) ، اتانول C۲H۵OH(۹۹.۹%) و آب‌مقطر با نسبت‌های مختلف x:y:z در نظر گرفته شده است. نمونه‌ها پس از متخلخل شدن رفتار متفاوتی از خود نشان می‌دهد که این اثر را می‌توان با اندازه‌گیری گاف انرژی از روی نمودار توجیه کرد. هم‌چنین در این مقاله مشخصه‌های I-V , I-Tنمونه‌ها در شرایط مختلف و در حضور گازهای CO۲,N۲,O۲اندازه‌گیری و مقایسه شده‌اند. بهترین شرایط از لحاظ پاسخ به اعمال گاز متعلق به پارامترهای: چگالی جریان ۲۰ mA/cm۲،t = ۱۸۰۰ S ، PH = ۱,۸۶۹ و فاصله بین آند و کاتد L=۴ cm است.
